E05421 - SEMI E54.21 - MOTIONNET®用センサ／アクチュエータネットワーク（SAN）通信に関する仕様 StdPbc-0818 The purpose of the Object-Based

The purpose of the Object-Based Equipment Model (OBEM) standard is to provide definitions

SEMI MF95-1107 (Reapproved 1023)

SEMI S10およびSEMI S14を用い，本文書で検討される危険源を考慮して評価したとき，装置のリスクがLow以下のレベルになるように選択・設計された安全機能を組み込んでPLHSを設計することにより，本安全ガイドラインへの適合が達成される場合がある。

SEMI MF28-02 (first SEMI publication)

E05421 - SEMI E54.21 - MOTIONNET®用センサ／アクチュエータネットワーク（SAN）通信に関する仕様 StdPbc-0818 The purpose of the Object-Basedglobal Information & Control Committee2010120global Audits and Reviews Subcommittee20102www. semi. org SEMI E155 SANSEMI E54MOTIONNET SEMI E54 Referenced SEMI Standards SEMI E54 Sensor Actuator Network Standard SEMI E54. 1 Standard for Sensor Actuator Network Common Device Model SEMI E54. 3 Specification for Sensor Actuator Network Specific Device Model for Mass Flow Device SEMI E54. 10 Specification for Sensor Actuator Network Specific Device Model