E05700 - SEMI E57 - 300 mmウェーハキャリアの位置決めおよび支持のために使用されるキネマティックカプリングの機械仕様 StdPbc-0526 静電気の数々の制御方法は，静電気を許容レベルにまで制御するために装置設計に組み込むことができる。装置製造の問題は，SEMI E78で述べている。

静電気の数々の制御方法は，静電気を許容レベルにまで制御するために装置設計に組み込むことができる。装置製造の問題は，SEMI E78で述べている。

Acceptable static charge levels continue to decrease with product feature size

このスタンダードは以下を期待される：

technicians

E05700 - SEMI E57 - 300 mmウェーハキャリアの位置決めおよび支持のために使用されるキネマティックカプリングの機械仕様 StdPbc-0526 静電気の数々の制御方法は，静電気を許容レベルにまで制御するために装置設計に組み込むことができる。装置製造の問題は，SEMI E78で述べている。global Physical Interfaces & Carriers Committee2010827global Audits and Reviews Subcommittee201010 www. semi. org199620053 300 mm Referenced SEMI Standards SEMI E15 Specification for Tool Load Port SEMI E19 Standard Mechanical Interface (SMIF) SEMI E19. 4 200 mm Standard Mechanical Interface (SMIF)