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個別に区別が必要なときにはベア・ガラス
このガイドは，SEMIプロセスケミカルまたはガススタンダードおよびガイドに指定された微量不純物に適用される。該当するすべての微量不純物について，校正曲線の回帰分析に基づいて，それぞれの仕様と同等またはそれ以内のMDLを決定すべきである。このガイドはSEMI仕様に対する性能の検証およびSEMIにおける新規仕様の制定の両面への適用を意図している。
The purpose of this Document is to standardize requirements for hexamethyldisilazane used in the semiconductor industry and testing procedures to support those standards
SEMI D21-0706 (Reapproved 0221)
C04600 - SEMI C46 - 25%テトラメチル水酸化アンモニウムのガイド StdPbc-0222 個別に区別が必要なときにはベア・ガラスglobal Liquid Chemicals Technical Committee2012618global Audits and Reviews Subcommittee20128www. semiviews. org www. semi. org199120063 25% 25% Referenced SEMI Standards SEMI C1 Guide for the Analysis of Liquid Chemical.